了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如除尘器等。
工艺过程中产生的全部气体量。
钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大⑸真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能⑺真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
真空泵的价格、运转及维修费用。
